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超高純氣體系統(tǒng)過濾器主要是過濾系統(tǒng)內(nèi)部高純氣體中含有的雜質(zhì)污染物，它的原理是通過擴(kuò)散和截獲機(jī)理將氣體中粒子過濾掉。如果有任何雜質(zhì)在超純氣體里就會(huì)造成氣體質(zhì)量下降，影響氣體的純度

超純氣體指純度高于99.99%的氣體，是一種高純化學(xué)試劑。它主要應(yīng)用在一些科學(xué)研究和尖端技術(shù)的特殊應(yīng)用上，比如半導(dǎo)體工業(yè)中會(huì)用到氫、氮、氦、硅烷等單一超純氣體作為保護(hù)氣和載氣，也可在高溫?cái)U(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。除此之外，也有不少超純混合氣體作為色譜、質(zhì)譜和光譜分析中的標(biāo)準(zhǔn)氣來使用。

超高純氣體過濾器通常安裝在閥門、配件下游和進(jìn)氣前的部分，供氣系統(tǒng)內(nèi)部由于振動(dòng)效果或者強(qiáng)氣流沖擊導(dǎo)致金屬粒子脫落，容易將粒子污染物帶入氣體中，因此需要在用超高純氣體過濾器過濾。超高純氣體過濾器能對(duì)超純氣體進(jìn)行有效精密過濾，可通過多級(jí)處理滿足工況要求，產(chǎn)品一體化無縫結(jié)合無焊接部位，適用于高壓工況下的氣體及液體過濾。

由于很多高壓氣體系統(tǒng)內(nèi)部壓力的很高的，因此耐高壓超高純氣體過濾器采用316l不銹鋼材質(zhì)，耐壓能力強(qiáng)，適合多種高壓工況系統(tǒng)。產(chǎn)品體積小，安裝方便，與大多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體具有良好的兼容性；微納米顆粒過濾能力保持高流量效率，超小壓降。

半導(dǎo)體行業(yè)中幾乎各道工序都用到超純氣體，器件的質(zhì)量與超純氣體的純凈度有密切關(guān)系。因此，對(duì)于超純氣體的過濾凈化是要起到重視作用的，選擇一個(gè)質(zhì)量過硬的超純氣體過濾器能夠幫助有效去除脫落粒子，保護(hù)超純氣體的純度避免工程損失和損壞